CCZK-OGS光学精密镀膜设备
集成电子束蒸发、磁控溅射复合工艺，搭配离子源辅助沉积单元，适配多层精密光学膜层加工，可制备均匀、杂质含量低、厚度偏差可控的光学膜层。
联系地址：江苏省南通市通州湾示范区大豫镇江新路16号
1.配置境外品牌膜厚监测组件，厚度控制精度≤±1%，批次膜层加工一致性较好
2.前置离子源清洗工序，改善膜层与基材结合效果
3.设备工作区间真空度较高，减少膜层杂质生成，提升光学成品通过率
4.支持多种光学镀膜工艺方案，适配多款光学元件加工需求
1.搭载晶控、光控两套膜厚监测模式，采用全自动闭环调节程序
2.立式一体化机身布局，场地占用适中，操作流程简易
3.离子源同步辅助沉积，膜层结构紧实，与基材结合稳定
4.配备手动、全自动两种运行模式，兼顾样品研发与批量生产
| 型号 | CCZK-1350-OGS | CCZK-1600-OGS | CCZK-2050-OGS |
| 腔体尺寸 | D1350mm*H1350mm | D1600mm*H1500mm | D2050mm*H1600mm |
| 负载功率 | 67KW | 86KW | 105KW |
| 占地面积 | L5700mm*W4900mm*H3050mm | L6800mm*W5800mm*H6780mm | L8300mm*W7000mm*H4200mm |
| 可镀模层 | AR 增透膜、AF 防指纹膜、高反射膜、滤光膜、BBAR 宽带增透膜；AF 膜硬度≥6H，光学膜层致密无针孔 | ||
| 真空系统 | 扩散泵/涡轮分子泵+罗茨泵+机械泵+维持泵（深冷系统可选） | ||
| 极限真空 | 5*10⁻⁴Pa | ||
| 转动系统 | 行星自转和公转系统 6/8/10/12/16轴 | ||
| 镀膜系统 | E型电子束 霍尔离子源 分布式 MFC 气路 CTM® 石英晶体膜厚监测仪 | ||
| 电源 | 电子束电源 等离子体电源 | ||
| 操作系统 | 全自动（IPC/PLC）+远程操作+报警系统（支持OPC-UA Link协议） | ||
| 备注 | 具体配置大小均可根据客户的镀膜产品要求进行设计 | ||
适配手机摄像镜片、光学镜头、眼镜镜片、车载显示玻璃、VR/AR 光学元器件、精密滤光片镀膜加工，可制备 AR 增透膜、AF 防指纹膜、高反射膜、滤光膜、BBAR 宽带增透膜。AF 膜硬度≥6H，光学膜层结构紧实，可减少针孔缺陷。
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