CCZK-DLC 类金刚石镀膜设备
搭载非平衡闭合磁控溅射、FCVA 过滤阴极电弧两类工艺，可在低温条件下制备含氢、无氢 DLC 涂层，膜层摩擦系数偏低，具备减磨、自润滑理化特征。
联系地址：江苏省南通市通州湾示范区大豫镇江新路16号
1.涂层摩擦系数≤0.15，自带自润滑效果，可减少外部润滑介质使用
2.无氢 ta-C 涂层硬度可达 63GPa，具备良好耐摩擦表现
3.沉积温度区间控制在 100~200℃，适配受热易变形的基材加工
4.膜层结构紧实，可耐受酸碱环境、盐雾腐蚀工况
1.自有 DLC 配套工艺方案，降低膜层内应力，减少开裂、膜层剥离现象
2.可移出式三维工装转架，工件装取操作简单，适配多种尺寸零部件
3.配套全自动控制系统，各类成熟工艺参数可一键调用
4.支持多款 DLC 膜层制备，匹配不同产品加工工况需求
| 型号 | CCZK-1012-DLC | CCZK-1416-DLC |
| 腔体尺寸 | D1000mm*H1200mm | D1400mm*H1600mm |
| 负载功率 | 140KW | 170KW |
| 占地面积 | L5400mm*W5200mm*H2900mm | L6155mm*W5050mm*H3210mm |
| 可镀颜色 | 黑色、深灰色、哑光黑,七彩 | |
| 可镀膜层 | 含氢 DLC、无氢 ta-C、W-DLC、GLC、WC/C；硬度 1500HV~63GPa，摩擦系数≤0.15 | |
| 真空系统 | 扩散泵/涡轮分子泵+罗茨泵+机械泵+维持泵（深冷系统可选） | |
| 极限真空 | 5*10⁻⁴Pa | |
| 转动系统 | 行星自转和公转系统 6/8/10/12/16轴 | |
| 镀膜系统 | CKB®平面溅射阴极 / CKB®圆柱溅射阴极 / IET®离子蚀刻源 / 分布式 MFC 气路 / HIPIMS 溅射 | |
| 电源 | 脉冲直流溅射电源 / 双极溅射电源 / 射频溅射电源 / 脉冲偏压电源 / HIPIMS 电源 / IET®蚀刻源电源 | |
| 操作系统 | 全自动（IPC/PLC）+远程操作+报警系统 （支持OPC-UA Link协议） | |
| 备注 | 具体配置大小均可根据客户的镀膜产品要求进行设计 | |
适配发动机活塞、滑动密封配件、有色金属切削刀具、医疗器件、手机精密零部件、金属表带、首饰制品镀膜加工，可制备含氢 DLC、无氢 ta-C、W-DLC、GLC、WC/C 多种涂层，呈现黑色、深灰色、哑光黑、七彩外观效果。膜层硬度区间 1500HV~63GPa，摩擦系数≤0.15。
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