CCZK-SF磁控溅射镀膜设备
采用平面、旋转磁控溅射工艺，可制备结构均匀的金属及化合物膜层，适配多种基材与不同镀膜加工工况
联系地址：江苏省南通市通州湾示范区大豫镇江新路16号
1.膜层排布均匀紧实，膜层与基材结合状态稳定
2.工艺参数可控，批次加工效果一致性较好
3.支持低温镀膜工艺，降低热敏基材受热形变概率
4.靶材消耗损耗可控，长期运维支出适中
1.支持平面靶、圆柱旋转靶两种配置，适配多款产品镀膜生产
2.搭载全自动 PLC 控制系统，人机操作流程简易
3.支持单层、多层复合膜层制备，膜层杂质含量低
4.工装架可适配常规尺寸、异形零部件同步镀膜
| 型号 | CCZK-700-SF | CCZK-1012-SF | CCZK-1416-SF | CCZK-1618-SF | CCZK-1820-SF |
| 腔体尺寸 | D700mm*H700mm | D1000mm*H1200mm | D1400mm*H1600mm | D1600mm*H1800mm | D1800mm*H2000mm |
| 负载功率 | 58KW | 75KW | 175KW | 230KW | 255KW |
| 占地面积 | L4200mm*W4200mm*H2300mm | L5400mm*W5200mm*H2900mm | L6155mm*W5050mm*H3210mm | L6500mm*W4750mm*H3200mm | L7800mm*W5200mm*H2600mm |
| 可镀颜色 | 金色、银色、枪黑、玫瑰金、蓝色、灰色、透明色等 | ||||
| 可镀膜层 | 纯金属膜、合金膜、化合物膜；硬度500~3000HV，膜层致密耐磨 | ||||
| 真空系统 | 扩散泵/涡轮分子泵+罗茨泵+机械泵+维持泵（深冷系统可选） | ||||
| 极限真空 | 5*10⁻⁴Pa | ||||
| 转动系统 | 行星自转和公转系统 6/8/10/12/16轴 | ||||
| 镀膜系统 | CKB®平面溅射阴极 / CKB®圆柱溅射阴极 / IET®离子蚀刻源/分布式 MFC 气路 / HIPIMS 溅射 | ||||
| 电源 | 脉冲直流溅射电源 / 双极溅射电源 / 射频溅射电源 / 脉冲偏压电源 / HIPIMS 电源 / IET®蚀刻源电源 | ||||
| 操作系统 | 全自动（IPC/PLC）+远程操作+报警系统 （支持OPC-UA Link协议） | ||||
| 备注 | 具体配置大小均可根据客户的镀膜产品要求进行设计 | ||||
适用于五金装饰零部件、家电玻璃、汽车配件、3C产品、光学镜片、玻璃美妆包装、半导体元器件镀膜加工，可制备纯金属膜、合金膜、化合物膜，呈现金色、银色、枪黑、玫瑰金、蓝色、灰色、透明色等多种外观效果。膜层硬度区间 500~3000HV，膜层结构紧实，具备耐摩擦理化特性。
上一篇：没有了!
下一篇：CCZK-UVA 自动喷涂固化线
