CCZK-HT超硬质工具镀膜设备
集成磁过滤多弧离子镀与非平衡磁控溅射工艺，适配切削刀具、精密模具镀膜加工，制备耐高温、抗腐蚀硬质膜层，改善工件使用周期。
联系地址：江苏省南通市通州湾示范区大豫镇江新路16号
1.搭载磁过滤除滴结构，减少涂层表面大颗粒析出，优化表层状态，提升工件耐磨表现
2.采用双磁场离子刻蚀结构，提升膜层与基材结合效果，降低膜层脱落概率
3.配套耐高温镀膜工艺，膜层耐受温度可达 1100℃，适配高速干式切削加工工况
4.适配多种金属基材，可覆盖多类零部件镀膜加工需求
1.膜层硬度区间 1800~3500HV，膜层具备耐磨损、抗高温氧化、耐化学腐蚀四类理化特性
2.配备行星公自转工装架，异形工件各面均可形成均匀膜层
3.多靶位布局设计，支持多层梯度复合膜层制备
4.搭载闭环温控模块，镀膜加工温度可精准调节
| 型号 | CCZK-700-HT | CCZK-1000-HT |
| 腔体尺寸 | D700mm*H700mm | D1000mm*H1000mm |
| 负载功率 | 140KW | 170KW |
| 占地面积 | L4460mm*W4340mm*H2290mm | L5200mm*W4800mm*H2700mm |
| 可镀模层 | TiN、CrN、AlTiN、AlCrN、TiSiN、AlCrSiN；硬度 1800~3500HV，最高耐温 1100℃ | |
| 真空系统 | 扩散泵/涡轮分子泵+罗茨泵+机械泵+维持泵（深冷系统可选） | |
| 转动系统 | 行星自转和公转系统 6/8/10/12/16轴 | |
| 极限真空 | 5*10⁻⁴Pa | |
| 镀膜系统 | BTA®弯管式过滤电弧阴极 IET®离子蚀刻源 分布式MFC气路 阳极层线型离子源 | |
| 电源 | 脉冲弧电源/脉冲偏压电源/等离子体电源/HIPIMS电源/IET®蚀刻源电源 | |
| 操作系统 | 全自动（IPC/PLC）+远程操作+报警系统（支持OPC-UA Link协议） | |
| 备注 | 具体配置大小均可根据客户的镀膜产品要求进行设计 | |
适用于切削刀具、冲压模具、航空零配件、医疗器件、机械耐磨配件镀膜生产，可制备 TiN、CrN、AlTiN、AlCrN、TiSiN、AlCrSiN 等硬质膜层。膜层硬度区间 1800~3500HV，可在 1100℃高温工况下稳定使用。
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